日本卫浴大厂TOTO于10月30日宣布，将在福冈县丰前市投资约600亿日圆，兴建半导体制造设备用精密陶瓷新厂，预计2029财务年度上半年，也就是2029年4月至9月间开始生产。 新厂为三层楼建筑，总楼地板面积约3.6万平方公尺，将成为TOTO陶瓷事业规模最大的生产设施。 这家以马桶、免治马桶闻名全球的日本企业，半导体陶瓷事业已成为重要获利来源。 TOTO同日公布的财报显示，2026年4月至9月陶瓷事业营收396亿日圆，营业利益达182亿日圆，获利率接近46%。 ​​​​​​​​​​​​​一图看懂半导体TOTO陶瓷怎么帮忙造芯片？ 产品一｜静电吸盘 晶圆陶瓷吸盘静电力固定晶圆。

产品二｜AD陶瓷防护膜制作流程 1高速喷出陶瓷粉2撞击表面3致密成膜防掉屑效果 一般表面AD膜电浆碎屑多碎屑少抵抗电浆侵蚀，减少碎屑落到晶圆上，降低芯片缺陷风险。 数据源TOTO｜静电吸盘产品原理TOTO｜AD陶瓷膜技术TOTO｜2026年10月30日公告 陶瓷事业营收仅占11%，却贡献集团七成获利 TOTO今年上半年合并营收3647亿日圆，营业利益252亿日圆。 其中陶瓷事业营收年增34%，占集团营收约11%，却贡献超过72%的营业利益。 相较之下，日本住宅设备事业营收达2231亿日圆，营业利益只有54亿日圆。 TOTO将长期累积的精密陶瓷技术应用于半导体设备，主要产品包括「静电吸盘」与「AD陶瓷零件」。

静电吸盘利用静电力固定硅晶圆，让晶圆在蚀刻制程中维持稳定；蚀刻是利用化学反应及高能量粒子去除晶圆表面材料，形成微小电路结构。 AD则是气胶沉积技术（Aerosol Deposition），将陶瓷微粒高速撞击设备表面，形成致密保护膜，降低电浆侵蚀造成的微粒污染，减少晶圆制造过程中的不良品。 TOTO表示，这项技术已应用于先进逻辑半导体制造设备。 大分、福冈接力量产次世代陶瓷零件 TOTO另将在大分县中津市两座工厂投资约110亿日圆，创建供先进逻辑半导体制造设备使用的次世代AD陶瓷零件量产能力，预计2028财务年度内投产。 福冈县丰前新厂则将生产次世代静电吸盘及AD陶瓷零件，预定2029财务年度上半年投产。

中津110亿日圆已纳入先前公布、后续调整至约330亿日圆的陶瓷事业成长投资计划；丰前新厂则是另外的大型投资。 TOTO表示，这是为了因应持续扩大的先进半导体需求，提前创建次世代产品的量产能力。