日本衛浴大廠TOTO於10月30日宣布，將在福岡縣豐前市投資約600億日圓，興建半導體製造設備用精密陶瓷新廠，預計2029財務年度上半年，也就是2029年4月至9月間開始生產。 新廠為三層樓建築，總樓地板面積約3.6萬平方公尺，將成為TOTO陶瓷事業規模最大的生產設施。 這家以馬桶、免治馬桶聞名全球的日本企業，半導體陶瓷事業已成為重要獲利來源。 TOTO同日公布的財報顯示，2026年4月至9月陶瓷事業營收396億日圓，營業利益達182億日圓，獲利率接近46%。 ​​​​​​​​​​​​​一圖看懂半導體TOTO陶瓷怎麼幫忙造晶片？ 產品一｜靜電吸盤 晶圓陶瓷吸盤靜電力固定晶圓。

產品二｜AD陶瓷防護膜製作流程 1高速噴出陶瓷粉2撞擊表面3緻密成膜防掉屑效果 一般表面AD膜電漿碎屑多碎屑少抵抗電漿侵蝕，減少碎屑落到晶圓上，降低晶片缺陷風險。 資料來源TOTO｜靜電吸盤產品原理TOTO｜AD陶瓷膜技術TOTO｜2026年10月30日公告 陶瓷事業營收僅占11%，卻貢獻集團七成獲利 TOTO今年上半年合併營收3647億日圓，營業利益252億日圓。 其中陶瓷事業營收年增34%，占集團營收約11%，卻貢獻超過72%的營業利益。 相較之下，日本住宅設備事業營收達2231億日圓，營業利益只有54億日圓。 TOTO將長期累積的精密陶瓷技術應用於半導體設備，主要產品包括「靜電吸盤」與「AD陶瓷零件」。

靜電吸盤利用靜電力固定矽晶圓，讓晶圓在蝕刻製程中維持穩定；蝕刻是利用化學反應及高能量粒子去除晶圓表面材料，形成微小電路結構。 AD則是氣膠沉積技術（Aerosol Deposition），將陶瓷微粒高速撞擊設備表面，形成緻密保護膜，降低電漿侵蝕造成的微粒污染，減少晶圓製造過程中的不良品。 TOTO表示，這項技術已應用於先進邏輯半導體製造設備。 大分、福岡接力量產次世代陶瓷零件 TOTO另將在大分縣中津市兩座工廠投資約110億日圓，建立供先進邏輯半導體製造設備使用的次世代AD陶瓷零件量產能力，預計2028財務年度內投產。 福岡縣豐前新廠則將生產次世代靜電吸盤及AD陶瓷零件，預定2029財務年度上半年投產。

中津110億日圓已納入先前公布、後續調整至約330億日圓的陶瓷事業成長投資計畫；豐前新廠則是另外的大型投資。 TOTO表示，這是為了因應持續擴大的先進半導體需求，提前建立次世代產品的量產能力。