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美国针对半导体制造设备进行出口管制,限制中国取得高端曝光机,不过除了先进制程使用的极紫外光(EUV)设备外,由美国研究机构CTS、美前出口管制官员撰写的最新报告指出,中国芯片商仍获得了高达343台的深紫外光(DUV)曝光机,其中大多是ASML的产品,显示出口管制依然存在漏洞,呼吁美国与盟友「全面禁止对中国出口浸润式DUV设备」。 港媒《南华早报》指出,总部位于华盛顿的政策研究机构「科技与国家治理能力中心」(Centre for Technology & Statecraft)发布最新报告,作者包括前美国出口管制官员、前美国商务部科技政策顾问。 美国芯片管制漏洞?
中国芯片商大买343台DUV 报告表示,截至2026年年初,中国芯片制造商预估已获得了343台浸润式DUV,其中有270台属于荷兰巨头艾司摩尔(ASML)的Twinscan NXT:1980i系统;在2024年及2025年,中国晶圆厂就花费超过130亿美元,分别购买约90台、89台的NXT:1980i。 报告提到,美国禁止对中出口EUV,因此中国芯片制造商高度依赖不在管制范围内的浸润式DUV。 而荷兰政府从2023年9月起,就规定ASML更高端的NXT:2000i与以上型号的浸润式DUV需要出口许可,NXT:1980i虽也需要许可证,不过仍通过逐案审查获得批准。 DUV造不出先进芯片?
华为新系列、高端内存都用它 报告指出,虽然DUV是较极紫外光(EUV)落后的技术,但经调整后,仍能用来制造包括华为升腾系列的7纳米芯片、AI处理器所需的高端内存。 报告作者估计,在配套设备充足的中国晶圆厂,一台NXT:1980i,每年可能支持生产超过10万颗升腾910C等效芯片。 报告强调,目前的出口管制做法存在重大漏洞,因此建议「全面禁止向中国出口浸润式DUV」,并限制相关零件供应与维修服务,同时呼吁美国与荷兰协调、或单方面地将出口管制,扩大到采用美国技术的外国制造设备。 更多风传媒独家内幕: ‧ 中国赶上曝光机、晶圆制造脚步要多久? 马斯克预言:只要3年就能解决 ‧ 台积电与ASML宣布重磅合作!
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