位于台大卓越研究大楼2楼，这间无尘室设置11台半导体先进制程与量测设备，支持8吋晶圆制程。 面对人工智能快速发展以及全球半导体竞争加剧，台大在国科会的半导体学院重点设备建置项目计划下获3亿资金，自己再挹注1亿元，设置研究与培育人才平台，学生在这可做各种尝试，包括2纳米制程。 台大重点科技研究学院教授陈建甫指出，「可以去做技术上的创新研发，在这样子的设备下，学生可以在一些技术上去克服，做到2纳米。 」要把芯片越做越小，在此处无尘室，物理系教授邱雅萍研究团队开发「临场剖面扫描显微半导体检测技术」，组件能微缩到多少尺度取决电子传输长度，过去计算距离靠理论，现在可准确量测，成果登上国际知名期刊《Nature》。

台大物理系教授邱雅萍说明，「直接在这个接口之上去量测它最小的尺度，取代这个仿真的这个更精准的，告诉大家这个组件它的接口工程以及它最小的尺度。 」另一个研究团队则研发出芯片主动性降温系统，即便在外太空没空气，也能让芯片散热，研究成果2度发表于知名的国际电子组件会议上。 台大重点科技研究学院教授李敏鸿表示，「可以利用本身的芯片产生的废热把它保存，然后来做一个冷却的效果，没有空气环境媒介的一个状况下，它也可以有效地把热带走。 」台湾身为半导体大国，过去相关科系买不起昂贵仪器设备，学生、教授做实验都要远走他校，这几年在国科会支持，全台成立7个半导体学院，希望通过更好设备培养更多人才，满足国内半导体产业的庞大需求。