位於台大卓越研究大樓2樓，這間無塵室設置11台半導體先進製程與量測設備，支援8吋晶圓製程。 面對人工智慧快速發展以及全球半導體競爭加劇，台大在國科會的半導體學院重點設備建置專案計畫下獲3億資金，自己再挹注1億元，設置研究與培育人才平台，學生在這可做各種嘗試，包括2奈米製程。 台大重點科技研究學院教授陳建甫指出，「可以去做技術上的創新研發，在這樣子的設備下，學生可以在一些技術上去克服，做到2奈米。 」要把晶片越做越小，在此處無塵室，物理系教授邱雅萍研究團隊開發「臨場剖面掃描顯微半導體檢測技術」，元件能微縮到多少尺度取決電子傳輸長度，過去計算距離靠理論，現在可準確量測，成果登上國際知名期刊《Nature》。

台大物理系教授邱雅萍說明，「直接在這個介面之上去量測它最小的尺度，取代這個模擬的這個更精準的，告訴大家這個元件它的介面工程以及它最小的尺度。 」另一個研究團隊則研發出晶片主動性降溫系統，即便在外太空沒空氣，也能讓晶片散熱，研究成果2度發表於知名的國際電子元件會議上。 台大重點科技研究學院教授李敏鴻表示，「可以利用本身的晶片產生的廢熱把它儲存，然後來做一個冷卻的效果，沒有空氣環境媒介的一個狀況下，它也可以有效地把熱帶走。 」台灣身為半導體大國，過去相關科系買不起昂貴儀器設備，學生、教授做實驗都要遠走他校，這幾年在國科會支持，全台成立7個半導體學院，希望透過更好設備培養更多人才，滿足國內半導體產業的龐大需求。