據《The Information》報導，1家總部位於上海的中國國企已開始量產浸潤式DUV曝光機，引發投資人擔憂ASML在中國市場的長期成長，27日ASML股價重挫，帶動半導體股下殺。 對此，知名半導體分析師陸行之指出，短期對ASML衝擊小，然而一旦中國設備在良率與穩定度上通過驗證，ASML將面臨成熟製程設備市占率被永久「國產替代」的風險。 DUV是什麼？ DUV的全名是Deep Ultraviolet（深紫外光）。 在製造晶片的「微影製程」中，工程師用「光」當作雕刻刀。 DUV使用一種波長很短的深紫外光，因此能夠製造出體積非常小、效能很好的晶片。

​陸行之引述《The Information》獨家報導，一家總部位於上海的中國國企，整合上海宇量昇科技等團隊，已開始量產ArF 193nm Immersion浸潤式DUV曝光機，旨在降低對荷蘭及日本曝光機技術的依賴。 預計今年生產約5台，2027年生產約20台。 設備預計交付給中芯國際、華虹半導體以及記憶體大廠長鑫儲存。 該設備主要採用本土零組件，少數關鍵零件來自日本，但本土供應商的交貨延遲已影響到今年的生產進度。 ​陸行之分析，中國國產浸潤式DUV曝光機啟動小批量生產與交付的進展，對ASML、Nikon、Canon及整體晶圓代工，存儲記憶體產業的影響為何？ ASML短期衝擊為何？

陸行之提到，中國自研DUV初期的產能，今年約5台、2027年約20台，與ASML 2026年出貨130台、2027年預計出貨169台，2028年220台相比仍有差距，尤其量產時程是否會因良率不穩定而延遲，以及設備的日產出產能可能與ASML機台差異大，尤其與ASML高階機台相比。 然而，中國客戶買不到ASML高階浸潤式DUV，加速換用中國國產機，將影響ASML高利潤的安裝基底服務營收。 中國市場長期將如何演變？ ​ 陸行之說明，ASML目前壟斷全球近99%的浸沒式DUV市場。 一旦中國設備在良率與穩定度上通過中芯等晶圓廠的驗證，ASML在中國這個占其營收約14%的第3大市場，將面臨成熟製程設備市占率被永久「國產替代」的風險。

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